采用ATR 棱镜的激光吸收光谱 是红外光谱发展较快的一个技术,也是目前最广泛采样技术可以进行定性或定量测试，而基本不用样品制备，这样可以大大加快测试速度、提高测试效率从多次反射 ATR 到单次反射的 ATR、从常温测试到变温测试(最高温度可达 300C)、从常压技术到高压超临界技术。
1-600mm / 2-600mm
±0.1mm / ±0.025mm
±2' / ±30''
60-40 / 40-20
1.0λ / λ/10
3-5μm T>97%
0.1-0.5mm*45°
单晶硅
